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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
名       称：

等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 

作       者：

张海洋 

出  版 社：

清华大学出版社 

  I S B N：

9787302489597 

出版日期：

2018年02月 

定价：

￥128.00

售价：

￥51.20

VIP价：

￥46.08

团购价：

￥41.00

优惠活动：

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