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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（第2版）
名       称：

等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（第2版） 

作       者：

张海洋 等 

出  版 社：

清华大学出版社 

  I S B N：

9787302614395 

出版日期：

2023年01月 

定价：

￥149.00

售价：

￥59.60

VIP价：

￥56.60

团购价：

￥47.70

优惠活动：

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