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半导体干法刻蚀技术：原子层工艺
作       者:

(美) 索斯藤·莱尔 

出  版 社:

机械工业出版社 

  I S B N:

9787111734260 

出版日期:

2023年10月 

定       价:

￥119.00

售       价:

￥72.50

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