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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
作       者:

张海洋 

出  版 社:

清华大学出版社 

  I S B N:

9787302489597 

出版日期:

2018年02月 

定       价:

￥128.00

售       价:

￥260.00

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